二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293609173 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高級蝕刻/asher設備，專門設計用於光掩碼操作。它集成了創新的過程控制和管理解決方案，以產生高質量的蝕刻模式。該系統在蝕刻和剝離率方面具有靈活性，選擇性高，工藝穩定性好，生產率高。這使得它適用於半導體、MEMS和展覽技術領域的廣泛應用。該單元采用激光束、反應性離子蝕刻（RIE）和基於等離子體的蝕刻工藝。2300 Exelan Flex FX采用開放體系結構設計,允許用戶自定義蝕刻參數和工藝參數。這臺機器具有較高的可重復性、較高的選擇性和較高的蝕刻速率。現場控制和管理解決方案使用戶能夠同時編程和控制多個過程,從而減少編程時間和成本。此外,它還提供實時流程信息,以改進流程理解和糾正操作。該工具配備了超高分辨率的3D圖像傳感器，用於精確蝕刻圖樣和過程控制。它還具有可配置的激光光束傳送資產，可精確控制光束功率和方向。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX提供自動過程控制,以確保在所有蝕刻和剝離任務中均獲得最佳效果。該蝕刻器的設計采用了獲得專利的高度可靠的閘門模型以及精確的加熱和冷卻系統，以在蝕刻過程中保持所需的溫度。此外,2300 Exelan Flex FX提供精確的壓力和流量控制機制來優化蝕刻應用程序,並提供一系列診斷工具來監控流程性能。其控制模塊使用戶能夠配置設備參數，以確保最佳蝕刻輪廓和結果。高選擇性和最佳蝕刻速率使設備能夠快速完成。該系統還設計有安全功能，如聯鎖、現場過程控制和壓力監測，確保操作員隨時安全。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高度先進的蝕刻設備,可為用戶提供精確的控制、可靠可靠的過程控制、高保真蝕刻圖樣和精確的過程管理。這使其成為光掩碼操作和行業領先技術領域的理想選擇。