二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #293810852 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款雙腔室蝕刻/分離器,旨在滿足各種高級蝕刻工藝的需求。它能夠在單個過程運行過程中同時提供化學和等離子體蝕刻/灰燼,從而提高了生產要求的吞吐量和靈活性。2300 Exelan Flex FX配備了直觀的人機界面（HMI），允許直觀的用戶輸入和監控。HMI顯示實時參數，使操作員能夠準確、輕松地監控和調整流程參數。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX型號與許多軟件系統兼容,可輕松集成到流程工程師現有的工作流程中。2300 Exelan Flex FX設計用於真空和大氣應用。它配備了變速輸送機，以及可移動的氣箱和可調節的工藝壓力室。雙腔室設計允許同時使用多種蝕刻化學，並能夠改變腔室之間的加工時間。LAM RESEARCH 2300 Exclan Flex FX憑借其可編程的處理參數和精確、精確的可重復性，實現了較高的靈活性。這使得精確的蝕刻食譜每次都能準確再現。此外,無論工藝配方如何,雙腔室都能通過精確一致的蝕刻性能為高產產品提供最大的加工窗口。Exelan Flex FX具有各種安全功能,例如真空互鎖、接近傳感器、ESD屏蔽和安全外殼,確保了操作員的安全生產環境。該設備還利用先進的軟件控制能力，實現遠程進程監測。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一種多功能的蝕刻/灰分系統,具有較高的吞吐量和優異的產量。該單位產生了精細的蝕刻配方，具有精確的可重復性和高可靠性，允許提高產量。先進的控制能力和安全特性，以及顯著的過程重復性，使得這臺機器適合各種高科技應用。