二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9359417 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是一款高級蝕刻/asher設備,專為高吞吐量制造而設計。它為廣泛的關鍵應用提供了最大的靈活性,例如光伏、半導體、MEMS、光電和其他納米結構。這種具有成本效益的系統可以用來蝕刻各種材料的多層，具有一致的高產率。此外,其獨特的設計提供了出色的均勻性在蝕刻,以及出色的清潔性能.2300 Exelan Flex FX為需要重復、均勻蝕刻以及高批量吞吐量的應用程序提供了極好的流程靈活性。它的動態氣流過程使它能夠同時蝕刻多達四層不同的材料。多層蝕刻支撐功能還允許同時對不同材料進行圖樣和蝕刻。該單元的高精度和高速度促進了復雜模式的快速周轉時間，縮短了周期時間，改善了蝕刻質量的均勻性，提高了產量。在蝕刻源方面，LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX配有高能密度蝕刻源（HEDES）和廣泛的加工氣體，以支持各類蝕刻應用。其HEDES產生高能量，允許快速蝕刻速率與高各向異性。它還配備了先進的熱控制機，為可重復的過程提供了對高溫的卓越控制。2300 Exelan Flex FX包括先進的安全功能,可確保安全運行並防止因意外電源短缺而損壞電池。它的高級監控功能還允許用戶實時觀察和監控單個單元性能。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX還包括高級診斷功能,可在多層蝕刻中提供可靠的蝕刻穩定性和可重復性驗證。此外，其獨特的腔室設計還具有可移動腔室底座，便於清潔和維護。它還配備了強大的自適應控制系統,可實現出色的過程準確性、可重復性以及適應變化的部件配置的靈活性。總體而言,2300 Exelan Flex FX是一款出色的蝕刻器/asher工具,旨在為各種關鍵應用程序提供最大的靈活性和可靠的蝕刻性能。它提供無與倫比的性能、精度和安全功能,同時提供卓越的產量和強大的工藝效率。