二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX #9375615 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex FX是為工業規模生產微電子元件而設計的蝕刻和灰化設備。它可以容納範圍廣泛的晶圓大小，從最小的（200毫米）到較大的（450毫米）晶圓格式。該系統采用獨特的自潔淋浴頭設計，實現了卓越的反應均勻性和更快的工藝時間。這種設計與聚酰亞胺塗層晶片板相結合，保證了低顆粒的產生。Exelan Flex FX有很大的參數設置範圍，包括蝕刻時間和壓力，以及均勻溫度控制。它在蝕刻深度和均勻性方面提供了非常嚴格的公差,從而實現了最高質量的蝕刻和灰化。此外,該單元還允許對工藝條件進行精確的實時調整,以優化蝕刻結果。Exelan Flex FX配備了屈指可數的高級安全功能。這包括一臺基於過氧化氫的清潔機，防止在腔壁上堆積，防止汙染。它還有一個先進的安全工具，以加強過程安全。它包括一個隔離室，用於將危險加工氣體與資產的其余部分分離，確保設施內人員的安全。此外,Exelan Flex FX還具有流程恢復功能,可幫助最大程度地減少與汙染相關的停機時間。最後,Exelan Flex FX專為靈活、特定於過程的調整而設計。此模型允許用戶定制蝕刻序列以優化特定過程的結果。這有助於減少停機時間並提高產量。Exelan Flex FX是一款用於大批量生產的可靠且通用的工具,具有更緊密的均勻性公差,可提供卓越的蝕刻和灰化效果。