二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293675856 待售
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ID: 293675856
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Etcher, 12"
(3) Process chambers
(1) Transfer chamber
Pump and controller missing
2005 vintage.
LAM 2300 Asher/Etcher是一種用於半導體及相關工藝操作的幹工藝asher/Etcher。它非常適合需要低溫和低壓或高壓氧血漿的工藝。2300先進、功能豐富的設計包括集成載流子和加熱器、雙轉子、閉環質量流設備、集成真空沈積、集成高效排氣。LAM 2300的內部加熱器和封閉式氣體輸送系統能夠精確控制基板加工溫度和輪廓狀態的均勻性。集成的雙轉子閉環質量流單元可確保過程氣體在整個處理周期內保持在安全的溫度和壓力參數內。集成真空沈積模塊可用於覆蓋基板上有一系列的材料，從金屬，聚合物，薄膜氧化物層。2300的創新設計和直觀的操控機，使其成為業界最可靠的保存蝕刻器/ashers之一。它與各種標準的加工管兼容,具有各種尺寸和加熱板尺寸。LAM 2300還配備了先進、高效、高強度的排氣工具，用於高效清除排氣副產品。排氣資產允許快速的模型設置和壓力維護，同時也將濃縮煙霧的濃度降至最低。2300提供聚焦氣體束,有助於提高蝕刻質量和特征的均勻性。LAM 2300上的兩級可變電源提供了對工藝參數的精確控制，包括時間、壓力、氣體比、流量以及工藝氣體的指定濃度。這些參數可以在過程中隨意變化，從而實現卓越的工藝質量和可重復性。此外,2300全面、集成的安全功能可保護您的員工免受與危險過程條件相關的風險。
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