二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293725149 待售

LAM 2300是一種適用於實驗室環境的高級蝕刻器/灰化器,能夠對200 mm尺寸的基板進行高精度蝕刻和灰化。該裝置具有三種不同的蝕刻技術-感應、電阻和低溫-允許廣泛的應用進行。感應蝕刻器/asher使用感應線圈產生交替磁場，感應元件中的渦流產生局部加熱。此過程產生的熱量損失最小,允許在細膩的元件上進行蝕刻,而不會損壞它們。電阻蝕刻器/灰化器的工作原理是通過單個電極傳遞電流並創建局部加熱區。這種設備需要能量轉換，對於非均質材料是最佳的。低溫工藝是最精確的蝕刻技術。它使用液態氮浴和混合熱交換器。這個系統有兩種工作方式，冷卻劑吸收殘留的熱能以降低元件的溫度，同時也汽化以產生真空，使元件進一步冷卻。此過程允許超精細蝕刻和灰化結果。安全方面，2300配備了過溫預警單元、冷卻高壓容器和均勻蝕刻溫度的壓力均衡機，對用戶安全。LAM 2300具有先進的蝕刻能力、精確度和安全性,是實驗室環境中任何蝕刻和灰化需求的理想選擇。適用於廣泛的材料，包括半導體晶片、電阻材料和金屬，可以用來蝕刻或灰燼各種形狀和尺寸。其集成的監測和控制工具使過程更容易和更高效，從而產生高質量的蝕刻和灰燼結果。