二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767096 待售
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LAM 2300 Exelan是實驗室先進的蝕刻/灰化設備,為各種樣品提供精確的蝕刻和灰化解決方案。該系統允許多個過程周期,並且可以與各種基板配合使用。LAM Exelan 2300提供了一個動態蝕刻室,它提供了均勻蝕刻和自動灰化過程。該裝置還設有一個完全封閉的氮氣凈化室，可消除外部大氣汙染。Exelan 2300還配備了車載計算機,用於操作控制和數據分析。該軟件有RAM和ROM兩種內存類型,用於程序設計和存儲。它包括一個易於操作的圖形用戶界面（GUI）,在編程和監視方面提供了靈活性。LCD觸摸屏顯示屏可詳細控制過程參數,包括指定的氣流、溫度和壓力。LAM Exelan 2300還能夠執行各種蝕刻和灰化過程。它配備了幹蝕刻、濕蝕刻和CMP蝕刻能力，可以去除1至10µm/min的物料速率。該工具還可以以高達10000 rpm的轉速進行濕蝕刻和O2蝕刻。此外，Exelan 2300在受控條件下運行，溫度從室溫到200 °C不等。LAM Exelan 2300是用於蝕刻和灰化解決方案的可靠的工藝資產。配備高溫、循環時間快，保證精密蝕刻和灰化操作。其車載計算機模型提供了一個方便用戶的圖形用戶界面，便於操作和編程，而其用於編程和數據存儲的單獨內存進一步增加了設備的便利性。2300 Exelan是一個先進的系統,可確保精確操作,確保在蝕刻和灰化解決方案中獲得最佳效果。
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