二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293767136 待售
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LAM 2300 Exelan Flex是一款精密的蝕刻器/asher,專為半導體行業的高精度蝕刻和表面灰化應用而設計。這臺機器使用了一種名為Laser Direct Write的創新技術，在包括金屬和氧化物層在內的一系列材料中實現優越的蝕刻和灰化效果。利用復雜的用戶控制平移床將激光束的圖樣傳輸到工件上，精確定位激光束並控制其功率。該設備還包括專有軟件，以確保各種材料的最佳蝕刻和灰化效果。2300 Exelan Flex配備了功率範圍為1-20 W的先進激光二極管發射激光輻射，能夠以高達每秒1 μ m的深度速率蝕刻或灰化厚度達1 μ m的層。該機還具有一個帶有封閉的充氮真空室的腔室，確保安全和最佳的蝕刻和灰化過程。封閉式腔室提供了一個潔凈的房間環境，具有很高的準確性和可重復性。此外,LAM 2300 Exelan Flex還配備了一個先進的運動控制系統,該系統具有多個伺服電動機軸和一個在三個維度上移動的機器打印頭,可進行精確的平移床調整。激光頭控制激光光束強度、高度和所需氣體流速，以實現最佳蝕刻和灰化過程，以及先進的激光控制相機，具有自動對焦功能。內置的計算機提供直觀的圖形用戶界面和自動化的過程，以便於操作。2300 Exelan Flex的設計考慮到安全性,具有氮氣凈化裝置、低噪音操作和緊急聯鎖機器。其高精度和可重復性適用於眾多蝕刻和表面灰化應用。憑借創新技術和用戶友好的界面，是半導體制造的理想選擇。
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