二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #293768859 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 293768859
優質的: 2007
Dielectric etcher
Process: CuOx
(3) Load ports
EDWARDS iH600 Pump
Gases:
C4F6
He/O2
O2
CH2F2
C4F8
Ar
CHF3
H2
N2
CF4
2007 vintage.
LAM 2300是由LAM Industrial Automation Inc.開發的自動化asher/蝕刻室設備,用於需要半導體級精度和可重復性的工業級應用。2300具有高可靠性、低成本和靈活性的獨特組合,是研究、制造、樣品制備和其他廣泛工業應用的理想選擇。LAM 2300是圍繞一個耐腐蝕的不銹鋼室和真空壓力系統設計的，能夠在操作過程中保持高達30 psia的壓力。該裝置設有優質粉末和骨料送料機，一個單獨的加熱氣室，最多三個獨立的反應區，以及一個強大的反應堆回收機。進料器和加熱的氣室可以通過直觀的操作員界面進行精確控制，允許更精確的蝕刻和沈積應用。2300堅固的容器設計允許各種可互換和可移動的工藝室,允許各種定制蝕刻和沈積應用。反應室的多功能設計可以適應薄膜加工、大面積沈積和化學表面處理，而反應堆回收工具則提供靈活的批量或連續操作。LAM 2300還配備了可用於確保工藝安全的環境監測功能。其集成的雙區域溫度和壓力控制提供了精確和即時的過程控制,而其全自動軟件資產提供了一定程度的過程監控和報告,這對於在當今與UHV兼容的沈積系統中保持一致和可靠的性能至關重要。2300為工業級蝕刻和沈積應用提供了最佳解決方案。其緊湊、高效的設計使其非常適合空間和功率是關鍵考慮因素的情況,而其滿足定制要求的能力允許在廣泛的蝕刻和沈積應用中具有高度的靈活性。LAM 2300的強大操作、廣泛的流程功能、低成本和快速的安裝,使其成為高精度和重復使用應用程序的理想選擇。
還沒有評論