二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9000118 待售
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LAM 2300 Exelan Flex是一款專業級蝕刻器/asher,專為量產和超高精度微加工應用而設計。這是全球領先的蝕刻設備制造商之一LAM Research的最新產品。2300 Exelan Flex具有快速、精確和高效的蝕刻性能。與傳統蝕刻系統相比,總周期時間顯著縮短,從而提高了吞吐量。該設備采用先進的超緊湊設計,使其具有高度的通用性,並允許用戶充分利用其緊湊的空間。它還設計了一個集成的機器人手臂,以增強易用性。機械臂有助於定位和傾斜基板,以獲得最佳的蝕刻精度.4軸機器人手臂可以遠程或編程操作,以實現最大程度的控制和可重復性。LAM 2300 Exelan Flex還具有一系列其他創新功能。它配備了高功率激光器,使用飛秒和皮秒的脈沖持續時間,提供卓越的蝕刻精度、深層硬件雕刻以及廣泛的定制精細間距蝕刻。基板蝕刻操作由先進的AEPS 3.2軟件控制器管理。通過執行復雜的計算、多輪自動對齊以及按需微調用戶蝕刻參數,可以確保卓越的過程控制和數據準確性。此外,該系統設有壓力密封蝕刻室和內置環境監測,以確保在多種操作條件下性能一致。這包括一個內置的過程溫度控制器和溫度閥,提供可靠的溫度反饋和控制。機載氧氣集中器進一步有助於確保均勻的蝕刻性能和可重復性。為了進行預防性維護和保養,該單元采用了創新的自我維護機器。這提供了一種安全方便的方法來監控和控制系統的運行穩定性以及操作和性能參數。該工具還具有內置警報和警告,以及手動覆蓋功能。總體而言,2300 Exelan Flex是一款最先進的蝕刻器/asher,專為生產和精密微加工應用而量身定制。該資產結合了多項高級功能,包括先進的軟件控制器、高功率激光器、4軸機器人臂、集成的壓力密封蝕刻室以及有效的自我維護模型,能夠以最小的維護實現一致和可靠的性能。
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