二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9061909 待售

LAM 2300是一種真空設備，帶有垂直載荷鎖室，結合了抗蝕塗層系統。抗蝕塗層工藝用於在基材上沈積一層保護層材料。2300是一種多功能、功能齊全的設備,能夠創建復雜的設備結構。LAM 2300利用擴散限制性塗層技術在基板上均勻地沈積一層保護層材料，如蠟、抗反射和/或正光致抗蝕劑。該機還允許精確控制層厚度和蝕刻均勻性。真空負載鎖結合精密蝕刻和抗沈積能力，使用戶能夠精確控制工藝條件，從而對結果進行精確控制。2300是一種先進的計算機控制工具,可以手動或自動模式操作。操作員可以在幾個步驟中調整過程參數，如壓力、溫度和時間。計算機化的控制使操作員能夠輕松地監控和調整過程參數，有助於確保過程的可重復性。LAM 2300裝有PZT（壓電轉印鏡），用於蝕刻薄膜和厚膜。PZT將電脈沖精確傳輸到基板上，使資產能夠精確蝕刻薄而厚的抗蝕膜。該模型還可用於蝕刻晶片、圓盤、條帶和其他類似的基材。2300能夠加工各種材料，包括金屬、氧化物、氮化物和聚合物。它還能夠進行毯子和圖案蝕刻，以及光刻和等離子體蝕刻。該設備可用於塗覆、選擇和設計具有多種塗層化學成分的基材，包括自旋玻璃和EUV/UV抗擴散塗層。LAM 2300耐塗層系統高效可靠.它易於使用和維護，能夠產生高質量的蝕刻和抵抗沈積結果。該單元非常適合制造復雜結構，如MEMS、薄膜晶體管和微組裝組件。該機是高通量、高精度器件制造的理想選擇。