二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9121960 待售

LAM 2300是一種雙室金屬蝕刻設備，用於將vias等小特征快速蝕刻成半導體和MEMS基板。它具有多用途版本,其中包含蝕刻和清潔過程中使用的組件。該系統能夠進行多種蝕刻工藝，包括精密濕蝕刻、幹蝕刻、含氟聚合物蝕刻和磁控管濺射。這些工藝既用於單一基板生產，也用於大規模生產結構較為復雜的基板。該單元包括兩個獨立控制的子室，每個子室包含一個向下定向的圓柱形蝕刻室。它能夠處理多達350毫米的晶圓，並有一個升高和旋轉的磁感器，允許各種復雜結構的精確定向和蝕刻。對於每個子室，在濕蝕刻或濺射過程中使用單獨的陰極/陽極對。該機器包含一個氣體輸送工具，根據所使用的工藝，該工具能夠產生極為廣泛的特殊氣體。2300還包括一條強大的後處理清理線,允許在蝕刻過程之後進行額外的處理。這條線能夠進行積極和溫和的清潔，包括使用HF和SC-1解決方案。該資產還能夠同時運行慢速和快速蝕刻,從而可以精確蝕刻非常小的特征。LAM 2300還具有觸摸板控件和預先編程的配方,可實現快速高效的操作。總體而言，2300是一種極具效率和強大的金屬蝕刻模型，用於許多工業和科學應用。其獨特的特點，如它的兩個子室和後處理清潔線，允許快速和精確的蝕刻和清潔各種基板和結構。因此,它是一個強大的工具,對於許多現代制造應用程序至關重要。