二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex #9222733 待售
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單擊可縮放
ID: 9222733
晶圓大小: 12"
Oxide etcher, 12"
AC Rack
Power control rack: AC Rack and P/C
(2) Exelan chambers
Gas module for (3) Exelan chambers
Parts
(3) Cable boxes
Vacuum transfer module:
Airlock: Right and left
TM / PM Facility line
Process module 1 and 2:
(2) Exelan chambers
VAT Pendulum value
Missing parts:
(2) BROOKS Load ports
ATM Robot
Wafer alignment
Wafer alignment module
VTM Robot
Turbo pump (ATH 1600M)
Turbo controller
RF System A/C power
Generator (TCP)
Generator (BIAS)
EFEM
MagnaTran 7
Loader
ESC
RF Cart.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是由LAM RESEARCH Corporation設計制造的Etch/Asher設備。它是一個完全自動化的系統，能夠處理直徑達200毫米的晶片。該裝置采用單晶片工藝模塊和腔室加熱化學蒸汽輸送機。2300 Exelan工具既高效又可靠,適合處理各種尺寸和結構的晶片。它的腔室具有可調節的溫度控制，可向上或向下調整15°C，允許精確和可重復的處理結果。它還具有改進均勻性、提高精度和最小化晶片損壞的集成設計功能。LAM RESEARCH 2300 Exelan Etch/Asher資產的工藝壓力高達760 mTorr,可在70°C至350°C的溫度下運行。它配備了用於傳輸晶片的傳輸工藝和能夠通過快速變化的氣體溫度降低芯片均勻性的振動器。該模型還具有低塵埃過濾器，用於在晶圓加工過程中捕獲塵埃顆粒。此外，它的負載鎖門具有真空密封和先進的安全功能，確保不會有汙染物進入設備或造成損壞。2300 Exelan系統還配備了先進的性能分析單元，允許用戶優化配置文件性能，提高可重復性。該機具有強大的軟件界面，允許用戶控制參數和監控數據，並提供用戶友好、直觀的圖形界面進行操作。LAM RESEARCH 2300 Exelan是廣泛材料的高通量蝕刻/灰化的理想解決方案,包括Si、GaAs、Ti、多晶矽和非晶矽。它在設計時考慮了耐用性和靈活性,是當今市場上最受歡迎和最可靠的蝕刻/灰化系統之一。
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