二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9003988 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9003988
Flex etch system, 8"
(3) Chambers
2300 Ver 2.0 Mainframe
Robot CDM
Cable Lengths (TM to Sub Panel) : 100ft
Loaders included
Cassette Interface:
(3x) Open Cassette
25 Slot Input Buffer Station
User Interface:
Front Mount
Side
(3x) 2300 Exelan Flex LEAP Etch Chambers:
Kalrez O-rings
PM ISO Valve (Chemraz Rocker V)
Dual Chiller
New Heater for IGS Gases
Cable Lengths (EMO/Gateway) : 50ft
Quick Clean Kit
Service Tool Kit
Gas Box:
(9) Gas line Config (IGS)
(1) Additional Gas line IGS)
Heated Gas line Package
Gas Interface Box (Covers 3 Process Modules)
Gas Box Configuration (MFC: HORIBA STEC Z300)
Line# - MFC Type - Gas - Size (sccm)
1 SZ313 C4F8 50
2 SZ313 NSR 50
3 SZ313 Ar 1000
4 SZ313 O2 200
5 SZ313 CO 200
6 SZ313 CF4 200
7 SZ313 H2 500
8 SZ313 CH2F2 50
9 SZ313 O2 3000
10 SZ313 N2 1000
11 SZ313 CHF3 100
12 SZ313 O2 20
RPDB for Dual Channel
Pump Exhaust Dilution Box
Options:
System UPS Support
GFI CBs
System Calibration & Alignment Kit
Signal Light Tower (R-A-G-B-C)
200mm Signal Lamp Tower
Mini Environment Air Intake
Software:
APC Recipe Tuning
2nd HSMS(Fab Common) Support
De-installed
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款先進、高精度的等離子體蝕刻設備，用於在矽和玻璃等材料的表面創建高質量、錯綜復雜的圖案。該系統旨在提供對蝕刻過程的精確控制,允許創建高度復雜且邊緣效果最小的圖案。Exelan設備配備了先進的成像機和集成的模式控制，能夠實現精確的模式控制。成像工具捕獲基板的圖像,然後將其用於控制蝕刻的位置和要去除的材料的數量。資產還配備了閉環功率調節器，允許模型在蝕刻過程中對功率輸出進行精確調整，確保材料在所需參數內蝕刻。設備通過軟件進行編程，允許用戶使用直觀的用戶界面自定義他們的蝕刻模式。該系統還具有高級查詢語言,可以自動進行數據評估。此功能允許用戶快速分析蝕刻圖案，實時調整蝕刻過程。Exelan設備設計用於半導體生產,為在矽和玻璃基板上創建復雜的圖樣提供最高精度。該機器設計得極其可靠,故障率低,停機時間最短。先進的成像工具、精確的電源控制和高級的查詢語言使用戶能夠快速、精確地創建精確的蝕刻。
還沒有評論