二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9116018 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9116018
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Dielectric etcher, 12"
1600 L/S Edwards turbo pump
PM ISO Valve: Chemraz rocker valve
NSR5247 A: Flex Configuration
2300 Exelan quick clean kit
2300 Exelan pend
Valve kit
2300 Exelan gas box
Regulated Inlet (per Gas Line)
(12) Gas configuration
Aera FC-D980CU MFC
NSR5248_A: Line 11 100sccm O2/He (30%)
Delta stacking kit
2300 Platform
(3) FOUP
WIDS BTM Read
User interface: Side and front monitor
System UPS circuitry
Cable: TM-subpanel, 50FT
SYS Calibration and alignment
TM NSR 1: VTM Dynamic alignment
Currently installed
2002 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款最先進的高品質蝕刻器和asher,用於高端半導體元件的制造。它配備了先進的工藝控制、獨特的潔凈室設計和精密天線,使蝕刻過程具有更高的一致性和準確性。2300 Exelan將先進的射頻升空技術與高分辨率、精確的成像系統相結合,產生精確的蝕刻圖案。這個過程在集成電路和其他電子元件上創建精確的三維地形。通過控制工藝中使用的瓦數和調節曝光時間,可以控制蝕刻圖樣的精度。LAM RESEARCH 2300 Exelan獨特的清潔室設計有助於確保過程中的最佳清潔度。這種設計具有不銹鋼面板和門、透明觀察窗、雙級過濾系統、低顆粒完整性和優化的空氣過濾流量。這有助於減少汙染、提高產量和盡量減少腐蝕的影響。2300 Exelan還配備了多項綜合安全功能,以保護操作員、艙室和設備。這些包括火災探測、溫度控制和壓力監測系統。這有助於最大程度地減少損壞正在蝕刻的組件的風險。LAM RESEARCH 2300 Exelan還具有強大的控制器單元,可實現高效、準確的過程控制。這樣可以確保精密地完成蝕刻過程,並且從批次到批次都是一致的。控制器單元還可以方便地監控過程,如溫度、壓力、電壓和電流,這有助於確保設備運行中的質量控制。總體而言,2300 Exelan是一款先進的高質量蝕刻和灰化設備,旨在提供精確可靠的結果。其先進的功能允許精確和精確的蝕刻,同時也允許高度的安全和質量控制。這使得LAM RESEARCH 2300 Exelan成為蝕刻和灰化半導體元件的理想工具。
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