二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9205123 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款蝕刻和asher組合工具，是一款多室設備，具有專為工藝改進和可重復性而打造的集成三室設計。該系統設備齊全,能夠處理各種蝕刻和灰化要求,提供出色的精密蝕刻和灰化,並在多個周期中提供可重復的結果。2300 Exelan通過其先進、獨立的腔室控制和集成冷卻單元提供了卓越的控制和過程能力,以及大型過程窗口。此外,它的集成手套箱有助於保持高價值關鍵指令的處理清潔度。這些控件確保每次都能實現完美的蝕刻和灰化。LAM RESEARCH 2300 Exelan還利用多階段工藝配方,以實現最高級別的蝕刻可重復性和可用性,確保最有效的蝕刻結果。這種組合工具還提供了自動管開關、配置的基板加載和集成載波加載，從而實現了更高的吞吐量和更高的生產率。2300 Exelan配備了先進的安全環保系統，保持完美的潔凈室操作以及用戶安全。所有過程氣體、廢氣和有害物質都自動通過機器的綜合洗滌和過濾系統。該工具還配備了多種工作流配置,提供了適應各種流程的靈活性。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Exelan是一款出色的蝕刻和灰化工具,它提供卓越的功能以及卓越的準確性和可重復性。憑借其集成的安全系統、全面的控制功能和多種工作流程配置,此工具非常適合廣泛的應用,非常適合所有類型的蝕刻和灰化過程。