二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9242073 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一種為多種材料提供精密氣體蝕刻的蝕刻器或asher。這種多功能設備結合了多種工藝室選項和各種工具，使蝕刻工藝更加可靠和高效。其用途從臨界外層稀釋接觸通風孔、凹槽和互連的金屬化到硬質材料（如矽和GaAs以及SiC和SiGe）的深層圖樣化。2300 Exelan具有先進的源代碼設計,以確保快速的過程穩定性和原始的和Chen的結果。該氣體蝕刻器支持旋轉和徑向快速射頻等離子體蝕刻，導致等離子體均勻性優越，蝕刻速率高，產生形態優越。與其他蝕刻系統相比,其Arch-Jet線源具有更好的蝕刻效果。內部線寬控制設備還提供了更精確可靠的蝕刻工藝。LAM RESEARCH 2300 Exelan采用簡單、用戶友好的界面設計,允許快速設置和過程優化。此外，系統可以在相同負載下處理批處理和單晶片過程。該單元還包括保護和先進的安全功能，以確保機器操作的最高水平的安全和效率。2300 Exelan是一款極具效率、成本效益和可靠的蝕刻器或asher。它提供卓越的蝕刻質量和精度,允許卓越的過程控制和產品質量.這種蝕刻工具也非常易於使用,可以為許多不同的應用程序和過程快速高效地蝕刻各種材料。