二手 LAM RESEARCH 2300 Exelan #9249854 待售

LAM RESEARCH 2300 Exelan是一種半導體蝕刻器/asher，幫助在半導體晶圓上制造高度精確的小型蝕刻結構。它可以執行半導體器件制造所需的蝕刻、氧化物剝離和其他關鍵工藝。2300 Exelan提供小型功能的高精度蝕刻,由於其直流電源和先進的光學檢查設備,可重復性為+/-3%。它有一個寬的過程窗口，允許多個蝕刻過程依次完成。LAM RESEARCH 2300 Exelan配備了工藝控制包，允許用戶識別和控制蝕刻工藝參數。2300 Exelan能夠高精度地控制蝕刻速率、選擇性、均勻性和臨界維度。蝕刻深度在+/-150 nm時非常精確,這使得LAM RESEARCH 2300 Exelan成為制造MEMS設備的絕佳選擇。2300 Exelan還具有夾緊系統,能夠在蝕刻過程中準確、安全地定位晶片。此外,LAM RESEARCH 2300 Exelan可以同時配置批處理和串聯系統,從而實現靈活性和可擴展性。該單元適用於不同尺寸的晶片，從3英寸到6英寸不等。2300 Exelan還具有高溫能力，能夠達到一些用於制造3D IC的蝕刻材料的熔點。LAM RESEARCH 2300 Exelan非常可靠,其強大的設計確保在惡劣的工作條件下保持一致的性能。它的運行壽命高達30,000晶圓或長達500小時的連續運行時間。該機還非常用戶友好，擁有自動化的控制軟件和內置的潔凈室功能，如溫度和壓力監測。總體而言,LAM RESERACH 2300 Exelan是制造高精度小型半導體器件的絕佳選擇。它的準確性、可重復性和多功能性使其成為MEMS和微電子元件的首要蝕刻器/粉碎器。