二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #293640239 待售
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單擊可縮放
ID: 293640239
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Etcher, 12"
RF Match
Missing PENDULUM INSTRUMENT Valve
EDWARDS STP-A2203C3
PENDULUM INSTRUMENT 65048-PH52-ADR1 Valve
Manometer:
CM1: E28D-30653 Range 0.1 Torr
CM2: 625A-14059 Range 10 Torr
CM3: 6254-14059 Range 10 Torr
AC Enclosure
Anapaizer board
DC Enclosure power supply
VME Enclosure
CPU VME 7671
Lon control board
VIOP Board step driver
Lonworks IP Server
RF Feed line
ESC Power supply
OES Cable
(3) Noad boards
Helium MFC
Photon controller
Capacitor control board
Interlock board
SCU-1600 TMP Controller
2 MHz, 5000 W Generator
27 MHz, 3000 W Generator
60 MHz, 2500 W Generator
EFEM:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot (151864CUR)
Aligner
Buffer
Cool station
Missing pump
Terminal server
OHT Sensor node board
AGV Node board
Ethernet server
UI Panel
AC Rack:
BROOKS AUTOMATION ATM Robot controller (175789R)
UPS Power supply
Hard Disk Drive (HDD) Missing
PC
Monitor
Circuit breaker
Load port:
BROOKS AUTOMATION V2 (002-7200-29, 32)
LP1
LP2
LP3
VTM:
L-VAT Door: AL1, AL2 (07512-UA24-ADI2)
Angle valve: AL1, AL2, TM (MKS)
Pressure gauge: AL1, AL2, TM
Rocker valve: AL1, AL2, PM2, PM3, PM4
Magnatran7 VTM ROBOT
Solenoid valve
VTM Motherboard
Node board
Super slot board
GIB Gas box:
V2 (IGS Type)
Damper
No FIB
Gas line:
PM2: 571-033051-12535B1, Gas Line: 12
PM3: 571-033051-12535C1, Gas Line: 12
PM4: 571-033051-12535D1, Gas Line: 12
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
EFEM Pump
2007 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款由業內頂級半導體制造商之一制造的先進一代蝕刻器/asher。2300 Flex 45的設計目的是為晶片提供精密可靠的矽樹脂、的、砷化的和其他材料的蝕刻。LAM RESEARCH產品線的這一部分專為高質量結果和高生產率至關重要的應用而設計。LAM RESEARCH 2300 Flex 45每個腔室最多可容納45個晶圓的大容量，並且高度可配置單獨的吊艙，用於蝕刻和灰化應用。蝕刻過程由強大的控制單元控制,該單元提供了其他系統無法獲得的精度和可重復性級別。為了進行精確控制,2300 Flex 45采用了獲得專利的視覺設備,該設備掃描晶圓中的圖樣以提供精確的蝕刻結果。LAM RESEARCH 2300 Flex 45的沈積室能夠控制速度、底物溫度和壓力，從而產生具有卓越均勻性和屈服性的塗層。該系統以其穩健的設計而聞名，它不僅允許高產蝕刻，而且允許快速的過程周轉時間和每個過程之間的最小停機時間。該單元的設計還允許使用高溫材料，以及低溫材料。此外，該機采用優化的腔室設計，確保氣體分布均勻，降低工藝溫度梯度。2300 Flex 45機器還可以配置可選的冷凍蝕刻單元，在蝕刻過程中增加低溫元素。LAM RESEARCH 2300 Flex 45是半導體行業中的頂級蝕刻器/asher,對於需要極其堅固可靠的工具的應用來說,它是理想的選擇。2300 Flex 45具有廣泛的強大功能,可創建均勻、可重復和高產的塗層,同時保持高工藝速率和工作溫度。對於任何需要高度精確蝕刻和灰化的半導體應用，LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一個極好的選擇。
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