二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244839 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45是用於各種材料加工的工具。它是一個蝕刻器或一個asher,使用反應性離子蝕刻(RIE)去除了一層薄薄的材料頂層。這種技術在真空接近環境的環境中工作,能夠快速、精確地蝕刻和清潔表面。2300 Flex 45設計用於在單個工藝中提供高達45%的蝕刻率。它還包括內置真空泵等功能,以促進高效蝕刻。LAM RESEARCH 2300 Flex 45與其他蝕刻工具並行工作,包括深反應性離子蝕刻(DRIE)和感應耦合等離子體(ICPs)。它利用原地RIE (RIE-DRIE-ICP)功能來測量和預測給定過程的參數。這有助於提高蝕刻一致性和批處理到批處理的一致性。它還允許工程師即時進行調整,從而有助於縮短整個過程的時間。2300 Flex 45還包括一個高精度的電動XYZ級,能夠精確維修任何角度。這樣可以對基板進行高度精確的蝕刻,精確深度可達100 µm。它還具有內置的溫度控制器,允許工程師控制過程參數,如蝕刻時間和壓力。此外,該工具還配備了安全外殼和接地保護電壓單元。這有助於防止操作員在操作過程中靜電放電(ESD)。LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一種多功能工具,旨在幫助工程師蝕刻各種材料。它能夠加工多種基材,包括玻璃、石英、金屬、聚合物和復合材料。它還提供了一系列處理參數的出色均勻性,包括蝕刻速率、端點選擇和選擇性。歸根結底,2300 Flex 45是各種材料蝕刻和清洗的重要工具。
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