二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244869 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款為大批量生產而設計的蝕刻/asher設備。它具有先進的蝕刻和灰化功能,具有較低的熱預算要求。該系統采用獲得專利的動態蝕刻/灰分工藝,可提供最大的靈活性。是高精度、高通量晶圓加工的完美解決方案。2300 Flex 45能夠處理長達12英寸的圓形晶片,並且可以處理高達20微米的模具尺寸。它提供了三個蝕刻選項,允許用戶選擇其特定應用程序所需的進程參數。第一種選擇是低溫蝕刻，它使用等離子體產生較軟的蝕刻，減少微電荷，從而對薄模具造成損壞。第二種選擇是高溫蝕刻，它利用較高的溫度和熱能創造出更具攻擊性的深層蝕刻。第三個選項是混合蝕刻/灰分工藝,它將這兩個工藝結合在一起以獲得更精確的結果。LAM RESEARCH 2300 Flex 45擁有許多其他高級功能,使其成為蝕刻和灰化應用程序的理想選擇。它內置的化學混合單元讓用戶能夠改變工藝化學來優化蝕刻/灰分結果。它還具有可以測量溫度、壓力和時間的多模式高溫計。此外，熱力計還可用於顯示晶圓數據的圖形圖，以便實時監測蝕刻和灰化過程。該機具有幾個安全特性，例如內置的緊急關閉開關和壓力監測工具，以幫助防止事故發生。它采用模塊化結構，便於維護和升級。還可以對資產進行編程以滿足特定的生產需求。2300 Flex 45是一款可靠、高性能的蝕刻器/asher,可滿足大批量生產的需求。該型號先進的蝕刻/灰分功能、較低的熱預算要求和靈活的工藝參數,使其成為蝕刻和灰分應用的絕佳選擇。
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