二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9244870 待售
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ID: 9244870
晶圓大小: 12"
優質的: 2008
Etcher, 12"
(3) BROOKS AUTOMATION Load ports
BROOKS AUTOMATION Reliance Loader arm
EDWARDS EPX180NE Dry pump
BROOKS AUTOMATION Mag 7 Transfer arm
(3) Chambers
(3) IH1000 Pumps
(3) ADVANCED ENERGY DOFBC2-084 RF Generators
(3) Gas boxes
Computer
2008 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex 45 蝕刻器/asher是一種高度通用的先進蝕刻和灰燼設備。該系統旨在高效、快速地蝕刻和粉刷各種基材和材料。憑借其靈活性，2300 Flex 45非常適合各種材料和基材的蝕刻、ashing、剝離和灰後清洗。此單元非常適合各種應用,包括蝕刻處理、光掩碼蝕刻和背面處理。LAM RESEARCH 2300 Flex 45專為可重復、一致、高度精確的蝕刻和灰分處理而設計。它利用先進和穩健的過程控制提供了一個統一的結果，每一個蝕刻和灰運行。腔室還配備了先進的冷卻技術，有助於降低基板溫度，同時保持最佳蝕刻參數。2300 Flex 45旨在確保即使采用高密度蝕刻化學也能在整個基板上實現高均勻性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45有一個帶有高清工藝視圖窗口的大型工藝室。這使得用戶可以方便地實時監控和控制整個蝕刻過程。機器還可以配置一個可選的自動平移工具，使相機能夠根據需要在腔室周圍移動。可選的多龍門加載程序允許同時加載和卸載多達8個晶圓,從而進一步提高了流程吞吐量。2300 Flex 45極具配置性，可采用功率、蝕刻時間、灰時間、抗濃度、蝕刻角度、背面照明等多種工藝參數進行微調。還可以添加防汙染屏蔽、高級工藝監控系統、可選激光聯鎖系統等附加功能。這些功能協同工作以確保最佳的流程執行和性能。此蝕刻器/asher資產是按照嚴格的標準構建的,並且高度可靠。它還旨在最大限度地減少工藝室的維護和停機時間，從而保證最大的模型正常運行時間。LAM RESEARCH 2300 Flex 45由LAM RESEARCH支持,LAM RESEARCH是蝕刻系統行業領先的產品之一。
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