二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255633 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一種等離子體蝕刻器/asher設備，用於各種蝕刻和沈積過程。它旨在在中型腔室中提供高效和高性能的蝕刻和沈積工藝，從而提高生產率。該系統包括一個直徑45厘米的腔室和一個LAM Evergreen® Long Life Batch蝕刻高功率射頻發電機,以提供所需的工藝性能。工藝壓力範圍為15 mTorr至550 mTorr，最高溫度可達300 °C。該裝置能夠提供多種蝕刻工藝，從防反射塗層（ARC）到濕洗工藝，並帶有可選的PFG（等離子氟發生器）。此外，該機還配備了一套高級自動化功能和高級真空級診斷。邏輯控制、用戶友好的軟件允許用戶創建過程配方、設置和監視蝕刻過程以及分析結果。該工具還提供安全方面的高行業標準，具有自動化的安全程序和內置的安全繼電器。先進的信號照明設備會向操作員發出故障警報,並顯示警報標誌以說明潛在的安全問題。該模型適用於要求更高的蝕刻工藝，如合金蝕刻、高溫工藝和金屬蝕刻。2300 Flex 45非常適合半導體和MEMS制造商在更經濟的中型設備中尋找先進的蝕刻/沈積工藝。