二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9255641 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是專門為等離子體蝕刻和等離子體灰化過程而設計的蝕刻器/灰化器。它是FLEX系列蝕刻器/灰燼的一部分，其特點是在執行復雜的高溫過程時具有出色的等離子體均勻性和較高的工藝精度。此多步蝕刻器/asher提供高容量並行蝕刻和灰化功能,可提供最大吞吐量。2300 Flex 45采用了專有的EDGE等離子體技術,使設備能夠提供卓越的階梯蝕刻和灰化性能。這樣可以提供出色的特征定義和可重復性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45具有15英寸直徑的加工室，設計用於批處理模式或單片加工。它具有高壓操作能力，最多可配置五個過程步驟。它可以處理高達2000瓦的熱預算和高達70 mTorr的壓力預算,從而實現復雜的處理。2300 Flex 45還采用了LAM RESEARCH最先進的過程自動化技術,提供了靈活性和準確的過程控制。其精密的dOsC控制器可在所有步驟中保持較高的過程重復性和完整的晶圓覆蓋範圍。為確保高工藝質量,蝕刻器/asher具有傾斜晶片卡盤和靈活的晶片保持機構,在蝕刻和研磨過程中保持晶片的安全。此外，該系統還包括多個安全功能，包括多個安全聯鎖和傳感器，用於監控單元參數過電壓、溫度、壓力以及許多其他參數。這使機器在可靠性、耐用性和整體性能方面具有優勢。總體而言,LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一款先進的蝕刻器/asher工具,能夠以更高的效率和精度執行各種過程,同時提供出色的過程經濟性和安全性。是大容量等離子體處理應用的絕佳選擇。