二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258555 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是下一代蝕刻器/asher,它結合了專業級蝕刻器和精密蝕刻器的功能。它采用超大型等離子體腔室設計，集成了狹縫聚焦和頂部發射器技術，能夠提供卓越、高性能的蝕刻。2300 Flex 45具有先進而強大的50kW RF源,用於可靠且一致的蝕刻,確保最大限度的生產效率和過程控制。等離子體室具有高達180升的大容量，非常適合更大的蝕刻作業。智能狹縫步檢測和以連續模式連接單個蝕刻運行的功能意味著用戶可以管理他們的蝕刻作業並確保最佳和最經濟高效的結果。預先配置的晶片間距算法可確保對每個晶片應用正確的蝕刻間距。該設備還具有離子-能量區分設置，允許用戶精確控制基於離子的雜質去除。這樣可以確保更清潔的蝕刻具有較長的周期壽命。自動化的過程控制系統允許用戶輕松配置過程參數以確保最佳蝕刻結果。該單元包括基板存儲器以存儲多達10個配方並立即檢索它們。LAM RESEARCH 2300 Flex 45還有一個全自動溫度控制機，確保蝕刻機在最佳條件下運行。此外,快速清潔循環功能提供快速清潔循環,自動沖洗工具確保蝕刻器內部在蝕刻循環之間得到徹底清潔。2300 Flex 45是一款功能強大且可靠的蝕刻器/asher,易於使用,並提供卓越的蝕刻效果。憑借其尖端的特點和先進的技術，非常適合工商業蝕刻應用。它提供最大程度的控制和穩定性,確保改進蝕刻效果和延長蝕刻壽命。