二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9258556 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一種蝕刻器/asher,在單個平臺中提供原子層蝕刻/灰化功能。它提供了生產高級電路和高密度封裝組件的靈活性,例如晶圓級封裝,如翻轉芯片、3D-IC和高級2.5D集成。2300 Flex 45利用基於化學氣相沈積（CVD）的蝕刻/灰分技術,在原子水平上提供精確的蝕刻/灰分。該工藝還能夠顯著改善電介質和金屬的蝕刻/灰化。LAM RESEARCH 2300 Flex 45具有低溫處理參數，消除了基板熱損壞的風險。這是由於設備能夠精確控制反應室內的溫度。此外，2300 Flex 45采用獨特的雙波長激光系統，允許前所未有的過程靈活性。LAM RESEARCH 2300 Flex 45支持多種晶圓尺寸,最大可達300 mm,包括能夠即時在晶圓類型之間切換。該單元還具有對工藝條件的高級監控功能，允許控制關鍵工藝參數，以實現一致的產品質量。2300 Flex 45具有非常低的壓室，允許更高的表面遷移率和更快的反應物擴散，從而導致更均勻的蝕刻/灰分化學。這進一步提高了吞吐量和質量能力。機器還具有一系列可選組件,例如RTC工具、高級遠程監視功能和在線/離線切片資產。最後,LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一種高性能的蝕刻器/灰化器,在原子尺度上提供精密蝕刻/灰分,低溫處理。其獨特的設計特點提供了前所未有的靈活性和改進的產品質量,從而提高了吞吐量。此模型非常適合各種先進的電路和封裝應用,並為精細結構的蝕刻/粉刷提供了可靠、經濟高效的解決方案。