二手 LAM RESEARCH 2300 Flex 45 #9261420 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex 45是一種蝕刻器或asher設備,旨在提供卓越的金屬蝕刻和灰化性能。它有一個高性能的檢流計為基礎的掃描系統，使精確的光束傳遞到晶圓表面。該機組配備了雙波長激光，在193 nm時產生45 mJ脈沖能量，在248 nm時產生20 mJ脈沖能量，通過高能脈沖提供高度選擇性的蝕刻/灰分，同時利用非常短的曝光時間。2300 Flex 45包括先進的Edge Detection和Blanking功能,使機器只能將激光聚焦在基板的邊緣。其動態掃描速度控制確保蝕刻/灰分速度保持恒定，同時確保最佳蝕刻/灰分結果。它還配備了增強的氣體輸送工具，以精確的流量和註入對象的時間輸送廣泛的蝕刻/灰分氣體，如氯、氟和氧。此外,LAM RESEARCH 2300 Flex 45還結合了自動光束定心和光束指向功能,以進一步確保快速自動化。它具有快速的晶片加載和卸載機制,可通過最新的RESEARCH功能輕松升級。此外,它的操作配置工具允許用戶控制蝕刻/灰燼工藝參數,如氣流、光束功率、曝光時間和邊緣檢測,而無需調整組件的單獨設置。2300 Flex 45適用於研究和生產應用,提供卓越的蝕刻/灰燼性能。
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