二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9227341 待售
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已售出
ID: 9227341
晶圓大小: 12"
優質的: 2013
Oxide etcher, 12"
Process: Etch
Material / Chemical: OX/Si
Operating system: Windows
SMIF / FOUP
Safety standard: SEMI S2-0706
(3) BROOKS Load ports
BROOKS Reliance ATR Loader arm
Transfer module: BROOKS MagnaTran Transfer arm (Robot)
EDWARD STP-IXA3306C Pump
(3) MKS RF Generators
Chamber
Gas box
Gases:
Process gas 1: CHF3
Process gas 2: NF3
Process gas 3: O2
Process gas 4: CF4
Process gas 5: CH3F
Process gas 6: C4F8
Process gas 7: N2
EFEM
VTM & Exhaust cover
PM2
AC Rack
RF Cart
Gas box
GIB
(3) Load ports
Monitor rack
Light curtain
Gas line
APCU Box
Parts box
Cable & gateway box
RPDB
Does not include hard disk
Power: 208 V
2013 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一款針對大批量生產需求而設計的高級蝕刻器/asher。它能夠在各種基材上提供卓越的質量和精密的蝕刻和灰化工藝。2300 Flex EX采用真空密封、耐化學的腔室，全自動，簡化操作，提高工藝穩定性。這種閉環設備為具有雙重汙染控制功能的反應性和有毒物質提供了一個幹凈、安全的蒸發室。內置了一個綜合環境監測系統，以加強過程安全。大腔室允許大的基材尺寸，最多可容納12 「x 12」 x6「不銹鋼或石英基材以及6」石英晶片。為了實現有效的均勻性、覆蓋面和蝕刻能力，LAM RESEARCH 2300 Flex EX能夠進行最多6步和12種氣體的蝕刻工藝。該裝置還配備了兩種高性能氣源的選擇，一種是渦輪分子泵機，另一種是旋轉背襯泵和冷凍泵的組合。此外,2300 Flex EX還配備了高級控制工具和完全可編程的工藝室,具有廣泛的工藝和蝕刻配置。它還具有實時溫度和壓力監控資產,可更快、準確地獲取數據,以及一系列內置診斷和自檢功能,以便於操作和故障排除。使用最新的硬件和軟件,LAM RESEARCH 2300 Flex EX以經濟實惠的成本提供了多功能性和可靠性,使其成為多種基材和工藝應用的完美蝕刻和灰化解決方案。2300 Flex EX通過簡化的操作和面向安全的設計,提供了可靠且高性能的生產解決方案。
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