二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270658 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一款高性能的獨立蝕刻器/asher工具，用於高密度等離子體處理需求。它是為處理先進半導體器件制造關鍵層的蝕刻和灰化而設計的。2300 Flex EX具有直觀的開放式平臺用戶界面,可輕松訪問流程和配方管理系統,最多存儲30種配方。該機還具有優異的工藝均勻性、極低的汙染速率和優異的基板均勻性。LAM RESEARCH 2300 Flex EX利用多種工程過程控制技術，確保出色的蝕刻性能。其中包括用於高效蝕刻的高級等離子體源控制、用於實時過程監控的Auto-FID（高級基礎接口診斷）和用於閉環處理的過程控制模塊（PCM）以確保蝕刻均勻性。2300 Flex EX還具有基於Windows的操作員控制臺,提供直觀的圖形用戶界面,便於安裝和監控。LAM RESEARCH 2300 Flex EX能夠處理直徑達200 mm的基板，並使用遠程等離子體源（RPS）或直接激發源（DES）進行蝕刻。該機的設計采用加熱氣體管線和雙晶圓盒快門跟蹤技術，提供了一個照明工藝室和出色的工藝穩定性。2300 Flex EX還提供了一個可選的遠程負載鎖定設計,用於集成的基板裝卸。LAM RESEARCH 2300 Flex EX配備了一個集成的原位供氣系統，提供多達8種氣體輸送到工藝中，並配有集成的背面加熱系統，以確保晶圓的背面溫度均勻。該機還具有原位清潔功能，用於後蝕刻清洗，以消除加工室內的顆粒和殘留物。最後,2300 Flex EX提供了許多先進的現場診斷功能,如等離子體成像,用於全面的工藝優化和腔室維護。這些特點結合先進的腔室和工藝設計，使LAM RESEARCH 2300 Flex EX成為滿足先進等離子體加工需求的絕佳工具。