二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270660 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一種單晶片蝕刻和灰化設備，為各種蝕刻和灰化氣體提供快速蝕刻和灰化速度。該系統提供了先進的特征提取（FE）技術,以確保獲得最高質量的蝕刻和灰分結果。FE會自動調整每個晶片的工藝參數,以確保一致的結果並最大化吞吐量。LAM 2300 Flex EX還具有直觀的用戶界面,允許輕松設置蝕刻和灰分配方,並使用戶能夠快速準確地修改流程參數。該單位的平臺提供了廣泛的蝕刻和灰分容量，包括濕蝕刻、幹蝕刻、預鈍化蝕刻、深蝕刻和角浮雕蝕刻。LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX對多種多層蝕刻工藝有效。它可以處理薄至0.5微米的金屬，復雜的間隙形狀，以及鉆孔和電化學蝕刻孔。先進的氧化和夾緊技術可以更好地控制灰化過程。板載溫度監視器和集成的灰度診斷有助於優化過程性能。機器的維護功能包括自動預防性維護（APM）例程、板載診斷、實時參數監控以及支持軟件更新的工具訪問。LAM 2300 Flex EX允許快速準確地輸送氣體,其先進的安全功能確保用戶安全和符合法規標準。這種蝕刻器和asher資產有助於滿足對大批量生產和經濟高效的蝕刻和灰燼性能不斷增長的需求。