二手 LAM RESEARCH 2300 Flex EX #9270870 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex EX是一種精密蝕刻器/Asher,其設計目的是提供精確度和速度,以便對精密復雜的結構進行蝕刻和灰化。這一設備的特點是有一個大的加工室，可以從室溫加熱到500 °C，允許各種半導體和MEMS材料的灰化。活性O2、N2和PLOT氣體以及渦輪泵送技術為室內提供真空環境，以實現最佳蝕刻和灰化性能。該系統具有機械臂和積極的晶圓處理平臺。這與先進的軟件和機器人技術相結合，為操作員提供了編程和運行單元的最大靈活性和能力。該機器支持使用可選的專用盒式磁帶自動加載和卸載基板,從而實現透晶片蝕刻或灰化以及高效的分割平面過程運行。LAM 2300 Flex EX采用高精度晶圓對準工具設計,在處理晶圓時具有更高的精度。該資產還具有YFS （YieldFocus軟件）-一種自動優化算法,可根據操作員設定的特定標準優化蝕刻和灰化條件。此外，它還帶有一個實時晶圓位置和度量跟蹤模型，用於精確和精確的晶圓圖樣。該設備還包括高級流程控制和數據記錄功能,用於運行中和運行後的流程診斷。可以精確調整O2、N2、PLOT氣體以創建穩定的工藝環境。此外，LAM LAM RESEARCH 2300 Flex EX提供了一系列工藝計量選項，如ECD（電含量沈積）和XRF（X射線熒光）。最後,2300 Flex EX是一種高效、精確的蝕刻器/Asher,旨在滿足半導體和MEMS制造過程中最嚴格的要求。該系統采用實時計量和過程控制，保證了高產量和低缺陷，同時提供了最大的靈活性、準確性和速度。