二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #293604470 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex Asher/Etcher是一款先進的化學蝕刻/灰化設備，提供更高的可靠性和改進的加工性能。該系統能夠處理各種晶片和基板，同時提供出色的工藝控制和精度。2300 Flex極其用戶友好，適合廣泛的應用。該單元包括一個蝕刻室和一個鉸接式引擎蓋，便於進入整個加工室。LAM RESEARCH 2300 Flex提供出色的溫度控制,溫度控制精度在1攝氏度以內。該機還有一個內置的進料工具，提供一個裝卸晶片的平臺，以及大量的化學進料控制的分配閥。此外,2300 Flex還具有多種高級資產功能,可提高流程性能。它具有物料參數確定（MPD）特征,用於識別關鍵物料特性,以加強過程控制.該模型還有一個自動化的過程控制器，控制所有蝕刻和灰度時間和溫度，以確保一致和可重復的結果。Asher/Etcher還利用先進的氣體輸送設備，可將氣體和廢氣直接輸送到反應室。這進一步提高了工藝穩定性、晶圓均勻性和整體工藝效率。該系統還有多種過濾/分離和密封系統，有助於保護操作員並保持高工藝質量。LAM RESEARCH 2300 Flex的其他功能包括一個最先進的晶圓處理單元，它可以容納最大6英寸大小的基板。該機還具有自動卡盤溫度，以確保均勻和可重復的結果，並自動調諧攪拌以提高過程的可重復性。總體而言,2300 Flex Asher/Etcher是一款功能強大、靈活且用戶友好的工具,能夠處理各種基板和應用程序。它是研究和生產環境的絕佳選擇,提供卓越的性能和可靠性。
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