二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9062178 待售
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單擊可縮放
ID: 9062178
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Dry etcher, 12"
Non-SMIF
GEM
Wafer OF type: notch at 6 o'clock
TM Robot: Brooks Mag7
EFEM Robot: Brooks (white)
PM: 3-Ch
TMP: (3) Alcatel ATM 1600
Generator: (3) APEX1513/RFDS
Gas Box: Digital gas box
Loadport
2003 vintage.
LAM RESEARCH 2300 Flex是專門為半導體制造和研究而設計的多功能電磁等離子體蝕刻器/灰燼。具有進行蝕刻、鈍化、氧化物剝離和金屬蝕刻的能力。設備由緊湊可擴展的基座單元組成，配有高頻電源、物料處理系統、工藝室和真空泵。高頻電源可最大限度地提高工藝參數的準確性和可重復性,即使在廣泛的電壓、電流和壓力範圍內運行也是如此。物料處理單元確保物料的準確、可重復的裝卸、轉運。這臺機器可能由一個機器人、一個或幾個用於將工藝室與環境隔離的負載鎖或一個旋轉的滾筒進料工具組成,具體取決於用戶的要求。加工室是進行蝕刻和灰化過程的地方。腔室內部與提供受控、超高真空環境處理的高頻電源和真空泵相連。該腔室設計為具有出色的光學透明壁和非常低的排氣，使資產能夠保持敏感蝕刻和灰化過程所需的高真空和低內部壓力。2300 Flex可以配置各種氣體和化學成分,以便靈活處理許多材料,包括金屬、陶瓷、氧化物和聚合物。該模型還可用於光刻膠的加工固化和晶片的變薄。LAM RESEARCH 2300 Flex是一款用戶友好的模塊化設備,專為批量和在線生產應用而設計。它提供了可靠性、高工藝控制精度,以及多種功能,使其成為蝕刻和灰化工藝的絕佳選擇。
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