二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157494 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex Etcher/Asher是一個廣泛應用的先進等離子體蝕刻和等離子體清洗平臺，設計用於高效、準確的過程控制。它能夠執行多室序列配方，並在可靠可重復的過程中應用均勻蝕刻或清潔。該設備采用先進的等離子體技術，對多種材料進行精密的控制沈積、蝕刻、清洗。它非常適合半導體、MEMS、電子和光電行業的廣泛應用。該系統采用5軸機械輸送單元，有三個模塊-流程模塊、存儲模塊和閘閥模塊-以提供高性能。每個模塊都提供獨特的流程優勢和功能。工藝模塊提供了廣泛的工藝氣體選擇，如反應性離子和蝕刻化學，使用戶能夠設置包括高溫在內的不同蝕刻條件，以及射頻和直流功率水平。存儲模塊允許動態加載和卸載基板,以便在密封環境模塊或清潔室環境中進行處理或存儲。最後,閘閥模塊允許快速隔離和氣體管線切換的重叠過程.2300 Flex配備了用戶友好的多級自動化機器，允許用戶定義配方和控制過程參數，從而有效加快和優化吞吐量。它還配備了先進的監測和診斷工具，提供流程可見性和實時反饋，以調整和校正參數，提高流程穩定性和可靠性。LAM RESEARCH 2300 Flex是一個可靠的流程工具,它可以提供精確、可重復的性能以及大量的流程控制功能。通過采用先進的多室序列設計，它支持將各種蝕刻和清潔應用集成到一個工具中。其強大的體系結構具有機械傳輸和自動化系統,使用戶能夠快速輕松地設置過程參數。它提供可靠、可重復的性能,同時保持成本節約和更好的正常運行時間。2300 Flex是一款可靠高效的蝕刻器/asher,可滿足多個市場的需求。