二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157500 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex是一種蝕刻器/asher設備，設計用於在半導體晶片上精確蝕刻和粉刷復數模式。它是一個高度自動化的系統，與等離子體蝕刻、離子束銑削和化學蝕刻等多種技術兼容。該單元采用集成過程控制、自動舞臺運動和配方驅動的機器操作，以確保晶圓的精確對準和蝕刻/灰分的均勻性。2300 Flex提供高通量、低變異性，非常適合半導體晶圓的批量生產。該機采用多室工藝室，可獨立操作不同的工藝步驟。它還能夠同時抵抗塗層和灰化。這允許對復雜的光掩碼和特征配置進行高效處理,從而可實現最小的蝕刻偏差和改進的均勻性。該工具還提供高分辨率成像、動態O2清除清潔和自適應過程控制（APC）,可提供精確的蝕刻控制。這項技術確保了工藝的準確性和可重復性，同時避免了晶圓的損壞。此外,LAM RESEARCH 2300 Flex還具有實時診斷功能,可監控蝕刻過程和檢測任何異常,以及一系列腔室配置和溫度選項。該資產提供了最大的正常運行時間和機器可用性,旨在簡化維護並實現蝕刻過程的快速轉換。2300 Flex預配置了一些模塊,這些模塊可作為特定的蝕刻、粉碎器或功能,如抗剝離或離子束銑削。這些模塊允許用戶自定義模型以適應不同流程的需求。總體而言，LAM RESEARCH 2300 Flex是一種先進的蝕刻器/asher設備，提供復雜晶圓圖樣的精確蝕刻和灰化。它利用一系列先進的工藝控制和成像技術來確保蝕刻/灰分的均勻性,同時提供高效的工藝轉換。該系統可靠可靠,旨在確保高通量批量生產環境的最大正常運行時間和可用性。