二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9157501 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex是一款最先進的蝕刻機和asher,非常適合從半導體到研究和實驗室的應用。2300 Flex提供無與倫比的性能和靈活性,具有高性能組件,如高強度石英組件、石英波紋管、不銹鋼工藝室和堅固的冷藏工藝冷卻設備。LAM RESEARCH 2300 Flex旨在提供卓越的晶圓處理能力,並配有能夠維持最高真空水平的工藝室。2300 Flex能夠處理直徑不超過8英寸的各種晶圓類型和尺寸,是最靈活的蝕刻和灰化系統之一。此外,它先進的橢圓偏振和光學能力可以精確控制這一過程。LAM RESEARCH 2300 Flex具有幾個用戶友好的控件,具有易於使用的圖形用戶界面,用於控制蝕刻和灰化過程。該系統提供了自動和手動過程模式,用於精確控制和快速在過程之間切換的能力。此外,2300 Flex還利用板載讀取器和遠程界面來準確監控蝕刻和灰化過程。LAM RESEARCH 2300 Flex設計了多種工藝模塊,以確保與各種基材的兼容性,並提供快速的分步處理,以提高工藝效率和可靠性。該單元還具有直觀的板載配方生成機,允許用戶快速創建和存儲蝕刻和灰化配方。通過內置的流程診斷程序包,該工具可幫助快速輕松地識別流程故障的根本原因。最後,2300 Flex專為易於使用和安裝而設計,內置真空泵、冷卻液泵和氣體調節器可最大限度地減少空間和能源需求。整體配置直觀靈活,非常適合多種應用,LAM RESEARCH 2300 Flex得到LAM RESEARCH質量保證和服務及支持團隊的支持。
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