二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9244818 待售

LAM RESEARCH 2300 Flex是一款為精密蝕刻加工而設計的蝕刻/asher設備。該系統旨在為先進的微電子器件和薄膜產品提供均勻的蝕刻深度、長寬比和邊緣地形。2300 Flex提供高級功能,例如對蝕刻工藝的高分辨率控制、蝕刻工藝的自動對齊以及自適應蝕刻校正。這些特性使得該單元非常適合涉及精確蝕刻輪廓的過程,例如MEM蝕刻。該機器還具有獨特的多源配置，允許根據工藝要求在不同氣體之間切換。這允許擴展各種蝕刻食譜,以滿足特定的客戶需求。LAM RESEARCH 2300 Flex通過提供多種腔室幾何形狀提供了精確控制蝕刻過程的靈活性。其中包括圓形、矩形、模塊和自定義形狀。此外，該工具還可配備高級傳感器、控制器和驅動組件，以嚴格控制蝕刻工藝參數。2300 Flex可以配置各種工藝組件,從而允許各種蝕刻工藝。這些可以包括反應性離子蝕刻（RIE）、反應性離子束蝕刻（RIBE）、低壓化學氣相沈積（LPCVD）、等離子體增強化學氣相沈積（PECVD）、濺射蝕刻、快速熱處理（RTP）和幹蝕刻。LAM RESEARCH 2300 Flex還包括一系列等離子體源選項，如電容耦合等離子體（CCP）、感應耦合等離子體（ICP）、直流（DC）電源，允許增強過程控制和特定過程要求。總體而言,2300 Flex是精確蝕刻應用程序的理想資產,具有高分辨率蝕刻配置文件和快速吞吐量的功能。它還能夠進行各種蝕刻過程,從而為自定義需求提供最大的靈活性。