二手 LAM RESEARCH 2300 Flex #9244863 待售
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LAM RESEARCH 2300 Flex是為生產集成電路（IC）晶片而設計的高度複雜、大型的蝕刻器/asher設備。這種多波長蝕刻/灰分系統能夠處理多種材料，包括矽、石英和金屬。2300 Flex集成了單室設計，不需要換室。此功能允許LAM RESEARCH 2300 Flex提供更高的產量,因為在蝕刻過程中不需要在腔室之間進行材料轉移。該單元由多波長源、ICP波導和計算機控制單元組成，以提供最大程度的過程靈活性。該機配有先進的離子束源，可產生高能光敏濺射、反應性蝕刻/灰分和中性蝕刻/灰分。此功能使2300 Flex非常適合生產性能要求苛刻的IC。LAM RESEARCH 2300 Flex還包括一個精密激光級，可以在蝕刻和/或灰化過程中提供精確的特征對準。該工具配備了具有用戶定義參數的高級計算機控制器，可提供高度的流程靈活性。此外,2300 Flex還支持自動化的負載鎖定資產和可疏散的鐘罩,以改進流程性能和周期優化。這使晶片噴嘴能夠監控和對準,而無需手動交換晶片托架。LAM RESEARCH 2300 Flex結合了先進的高能光阻濺射、反應性蝕刻和中性灰度選件,使其成為生產性能要求苛刻的尖端IC的理想選擇。由於其單室設計和自動鎖載模型，它能夠提高生產率。此外，它還通過計算機控制器提供了高度的過程靈活性，並通過其精確的激光級提供了精確的特征對準能力。這些功能使2300 Flex成為滿足不斷增長的高性能IC要求的完美蝕刻/灰燼解決方案。
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