二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo E Series #9407036 待售
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo E系列是一款臺式機晶圓蝕刻器/asher，旨在保證晶圓蝕刻和灰化技術的過程重復性和準確性。這臺機器能夠在單個晶片上以300 WSPM的吞吐量實現晶片的蝕刻和灰化技術,精度為0.05 mm。它是半導體器件制造、生物傳感器和MEMS生產以及研發應用的理想選擇。2300 Kiyo E系列具有多腔炮塔處理室，提供多層次的環境控制和接口兼容性。它配備了高度敏感的保形加熱設備，使晶片在其整個表面上均勻加熱。這保證了可重復和精確的結果。此外，由於改進的保形加熱而產生的高沈積率提供了最大的工藝效率，同時減少了浪費。LAM RESEARCH 2300 Kiyo E系列還采用雙動雙回端效應器機制，控制晶圓的處理，並將其精確放置在合適的位置進行蝕刻和灰化。這是使用高動態液壓系統完成的,該系統提供準確的放置並保持產品完整性。末端效應器機構也兼容範圍廣泛的晶圓尺寸，從50mm到200mm。蝕刻器/asher還具有智能多點控制單元,可精確控制蝕刻和灰化流程。這臺機器還使機器能夠自動調整參數，以增強過程的重復性和有效性。此外,它采用幹凈的設計體系結構進行設計,可確保最大程度的過程穩定性並減少刀具維護工作量。最後，2300 Kiyo E系列提供了保證操作員安全的高級安全功能，如緊急停止按鈕和安全窗簾。這樣可以確保操作機器時的操作安全。
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