二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293609176 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是一款先進的蝕刻/asher設備，專為高通量、精密蝕刻各種半導體材料而設計。2300 Kiyo MCX具有堅固的雙隔間設計,最多有兩個加工室和一個轉移室。此高級系統可方便地訪問所有工藝參數,從而可以精確控制沈積/蝕刻操作。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX還包括一個精密的、實時的監控單元，使其能夠自動調整參數以確保最佳性能。2300 Kiyo MCX配備了先進的蝕刻/ashing功能，允許用戶產生高吞吐量的高品質蝕刻結果。該機包括帶有雙脈沖發生器的3D蝕刻/灰燼工具和開放式Trench Chamber設計，為用戶處理材料提供了更大的靈活性。另外，LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX也可用於高級材料沈積，如原子層沈積（ALD）和化學氣相沈積（CVD）。2300 Kiyo MCX允許在-25°C至+80°C的溫度下加工直徑可達300 mm的基材。該資產還具有壓力線關閉、快速清除周期和低漂移模型等特點,有助於確保精確的處理結果。此外,LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX還配備了自動清潔設備和自動腔室打開/關閉系統,這有助於減少停機時間和提高生產速度。2300 Kiyo MCX 蝕刻器/asher單元提供高效、精確的蝕刻工藝,具有卓越的吞吐量,允許用戶即使在極端條件下也能實現工藝精度。該機還具有高級功能，如實時監控、快速清除周期、低漂移系統和高吞吐量，幫助用戶在短時間內產生高質量的蝕刻結果和高質量的材料。此外,該工具允許用戶輕松訪問流程參數,從而可以輕松相應地調整設置。