二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #293636765 待售
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已售出
ID: 293636765
優質的: 2012
Metal etcher
Missing parts:
Qty / Description
(3) / Load ports
(1) / ATM Robot
(1) / Aligner
(1) / EPX180N Pump
(1) / Terminal server
(1) / UI Computer
(1) / 24 V DC Power supply
(1) / ATM Robot controller
(1) / UPS
(1) / TM Solenoid bank
(1) / Scara arm
(1) / VTM Robot
(1) / Super slot board
(4) / Chamber rocker assemblies
(2) / Airlock rocker assemblies
(12) / STEC MFCs
(4) / TCP Matches
(4) / TCP Coil assemblies
(4) / ASSY, 2300 SYM Doors linkage
(4) / ESC, Bowl cover with hinges and pivots
(4) / MNMTR Ports, end PT
(4) / Liner, bias MNTG Plates
(4) / WLDMT, INTFC Chambers separate NOZ
(4) / INJ, Dual, FACSEAL, IEP, HNYCMB, CER
(4) / Windows, ceramic LSR repair
(4) / Windows, quartz
(4) / Rings, edge combo quartz, 12"
(4) / Multiport vacuum valves
(4) / Plasma door shaft sleeves
(4) / Windows, CER LLT CTD Bayonet 2300
(4) / ESC, Tunable M-Z, 12"
(4) / Chambers, top PC 2300 MTL/PL
(4) / TCR
(4) / Liners, SYM Hi-flow 2300 SRC
(4) / Liners, fixed outer ACME 230
(4) / Cantilever liners
(4) / ESC Insulator rings
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Left hairdryer)
(4) / HTR-FAN TCW Assemblies (Right hairdryer)
(4) / Bias matches
(4) / He enclosures
(4) / PS 15 ABD 24 VDC
(4) / VME
(4) / VAT Pendulum 2300 Valves
(4) / 2.7 L Turbo VAC PMP
(4) / AC Enclosures
(4) / RF Carts
(4) / Node 1
(4) / Interlock boards
(4) / Proces manometers
(8) / Chamber and foreline manometers
(4) / TCP RF Cables
(4) / Bias RF Cables.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是一款為滿足半導體制造行業的精確需求而設計的蝕刻器/asher。這一先進設備經過專門設計，以滿足半導體器件制造中所用基板的濕化學加工要求。這件設備的主要目的是選擇性地在矽片上蝕刻/灰層材料。它能夠生產出薄薄的材料層，以便創造出只有納米厚的特征。薄層對於控制電阻元件如晶體管的尺寸和特性至關重要。2300 Kiyo MCX是一款緊湊、重復的機器，在批處理模式下工作。它是一種具有水平室和粉末分散系統的三軸設備，配有集成的磁性噴霧。噴霧劑將均勻的材料層散布在基板上，然後使用傳統的濕化學工藝將其蝕刻/粉刷。設備包括幾個部件，如循環過濾器、石英包絡和真空單元。石英包絡防止來自電阻元件的熱量影響基板的其他區域，從而實現精確的蝕刻/灰化過程。使用真空機除去蝕刻殘留物和多余材料，而循環過濾器除去汙染物和顆粒物，確保產品質量最高。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX能夠以大約10英尺/秒的速度運行,從而提高了生產效率和可重復性。所有濕化學處理步驟都是自動化的，而反饋控制系統則允許用戶監控過程，並根據需要輕松調整參數。此外，該工具內置了安全功能，包括警報和聯鎖，以確保所有流程安全完成。2300 Kiyo MCX實現的高精度和可靠性使其成為半導體制造行業復雜基材加工需求的理想選擇。憑借其自動化的系統和全面的安全功能,該蝕刻器/asher能夠可靠地生產高吞吐量的高質量產品。
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