二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX #9265975 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX是半導體工業常用的等離子體蝕刻&Asher設備。這套可靠的系統具有高性能等離子體源、全尺寸紫外線（UV）燈和功能豐富的用戶界面。2300 Kiyo MCX專為半導體器件蝕刻而設計,具有高功率13.56MHz高頻電源以及行業標準的C2F6、NF3和SF6氣體。它還支持矽、石英、SiGe、SiN、SiO2、TiN、TiO2、Al、NiCr等多種材料的蝕刻。該單元還包括一個全自動的用戶界面，允許用戶快速、輕松地設置、監控和修改流程配方。它還具有氣體控制自動化功能,能夠在操作人員幹預最少的情況下實現快速一致的流程。LAM RESEARCH 2300 Kiyo MCX還能夠同時控制多達8種配方的工藝條件，從而提高加工靈活性和吞吐量。該機運行成本低，能效高，功耗低。它采用高效氣體輸送工具，通過確保氣體的恒定流動幫助降低材料成本。資產還具有若幹安全功能，例如處理前後的自動模型檢查，以提高操作安全性。這些功能加上精確的工藝控制,使2300 Kiyo MCX成為許多行業的理想蝕刻和灰化解決方案。