二手 LAM RESEARCH 2300 KIYO METAL(EFEM/TM) #9134009 待售
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已售出
ID: 9134009
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Etcher, 12"
EFEM / TM
Configuration of SMIF
Signal tower: (3)colors
Number of Loadport: Missing
Parts no. of ATM robot: 151864
Buffer station: 25 slots, 1 Buffer station
ATM robot
(1)Aligner
Configuration of transfer chamber
Number of loadlock: 2 LL / 4 Slot cool chamber
Model of transfer robot: Megatran7 / Brooks
Parts no. of rocker valve: 853-007859-9223
TM Pressure gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series 640
LL Pressure gauge: Hasting
Configuration of etch chamber
Missing champer: PM2, PM3
Configuration of MW chamber
Missing champer: PM1, PM4
Configuration of gas panel, etch chamber
Missing gas panel: PM2, PM3
Power:
208VAC
3ph
400AMPS
50/60Hz
2006 vintage.
LAM RESEARCH 2300 KIYO Metal（EFEM/TM）是一種用於半導體器件制造的下一代蝕刻器和asher。此工具旨在實現快速原型設計、過程開發和高級設備功能的生產。2300 KIYO TM憑借其先進的蝕刻前控制和高選擇性能力,可提供最高水平的精密氣相蝕刻和粉碎機。2300 KIYO可與矽、石英、玻璃和金屬等多種基材搭配使用。該工具能夠支撐基本的溝槽蝕刻和深孔蝕刻參數。它的深孔蝕刻能力允許對亞微米結構進行處理，而其淺溝蝕刻能力則可以形成超薄層。該工具還配備了多區域溫度調諧和LP-RF技術等先進功能，以微調特定應用的蝕刻條件。2300 KIYO TM設置包括一個專有的高頻射頻發生器、離子源電源、線性離子引導設備和真空室。該工具還支持1面和2面晶片以及多個蝕刻和灰化工具。該系統包括一個最先進的自動化控制器，確保快速和可靠的過程控制。2300 KIYO還有一個集成的可編程靜電卡盤，確保提高工藝產量。它還內置了氣體面板和真空室，使設備能夠遠程運行。該機設計為實現高選擇性和提高蝕刻速率，總蝕刻速率高達5E10 torr。該工具還包括一個自動晶圓跟蹤工具，確保一致的蝕刻和高吞吐量。總體而言,LAM RESEARCH 2300 KIYO是一款功能強大的蝕刻器和粉碎器,旨在實現高級設備特性的快速原型設計、工藝開發和生產。其先進的特性和能力使其非常適合半導體工業中的設備制造。
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