二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293593184 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款多功能真空蝕刻器/asher，設計用於提供多種材料的高精度蝕刻和灰化。該設備廣泛用於半導體制造過程，能夠以高重復性和準確性對晶片和基板進行蝕刻和灰化。該系統可以蝕刻和作為硬材料以及混合塑料和聚合物薄膜，而不會損壞材料的表面。這是由於該工藝的準確性和可重復性，允許精確控制蝕刻的厚度和所需的灰度。該單元可實現多種蝕刻和灰化過程,如介電蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）和反應性離子灰化（RIA）。它還具有先進的過程控制能力，以促進快速和可靠的結果。自動反饋控制監控過程,以確保均勻蝕刻和灰化,同時保持可重復性和準確性。2300 Kiyo先進的工藝室設計采用幹式真空蝕刻和灰燼材料，降低了不同基板間交叉汙染的風險，降低了操作成本。該室還具有卓越的氣體註入能力，能夠精確控制沈積速率。蝕刻和灰化過程在可編程和封閉的環境中完成，以確保最大限度地減少對化學品、氣體和顆粒的暴露。這降低了顆粒汙染的風險，提高了工藝的整體清潔度。柔性腔室設計和先進的工藝控制在吞吐量、配方管理、生產調度等方面也提供了極好的工藝靈活性。該機還具有最大的流程靈活性,能夠同時運行批處理和連續處理模式。總之，LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一種先進的蝕刻器/asher，專門為半導體制造業中晶圓、基材和多種其他材料的蝕刻和粉刷而設計。它具有先進的腔室設計和過程控制功能,可提供卓越的工藝靈活性和精確度,並且其閉合工具操作可確保最大限度地減少對化學品、氣體和顆粒的暴露。