二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634814 待售
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已售出
ID: 293634814
晶圓大小: 12"
System, 12"
FI
MF
Chamber
AC Rack
Gas up frame and pipe
Load port
Parts box
Gas box
Gas box inlet option: Reg filter inlet gas panel
Gas filters: Standard filter
Transducer type: Display
Chamber isolation valve: Barrier seal door
Gas delivery type: On-board (3 Line)
Injector: Standard (-072)
No leak
O-Rings: Fluorosilicone
PM to pump interconnect: Pump to PM, 100ft
Heated pendulum valve
MFC Type: STEC SEC-Z313
Line 1:
Gas flow-On Board: 1000sccm
Gas type-On Board: N2
Line 2:
Gas flow-On Board: 5000sccm
Gas type-On Board: O2
Line 3:
Gas flow-On Board: 2000sccm
Gas type-On Board: Ar
(3) Load port surface foggy non-functional
Missing parts:
Cooling station
(2) Buffer stations
Does not include HDD.
LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX是一種高效的蝕刻器/asher,能夠提供行業標準的高級材料蝕刻/研磨和創新工藝能力。此蝕刻器/灰化器旨在將詳細的結構和圖案精確地蝕刻到各種尺寸不超過6英寸的基板中,並能夠支持當今最先進的蝕刻/灰化物應用。2300 Kiyo EX配有內置的、功能強大的超高真空（UHV）等離子體蝕刻設備和大功率射頻能源和渦輪泵，使用戶可以通過增加蝕刻率穩定性實現對高蝕刻選擇性的更好控制。LAM RESEARCH 2300 Kiyo EX還包括多室配置和先進的室溫控制系統，用於更精細的溫度控制和更清潔的結果。此外，這個蝕刻器/asher單元還配備了一個強大的負載鎖定機，可以快速、安全地將基板送入和送出加工室，以便更快地裝卸晶片。Kiyo EX還配備了高精度的等離子體控制端點檢測工具，使用戶能夠在蝕刻/灰分操作過程中準確、一致地測量蝕刻/灰分深度。2300 Kiyo EX具有先進的功能和最先進的功能,非常適合進行大容量蝕刻/灰分操作,並具有處理最具挑戰性的蝕刻/灰分應用程序的靈活性。此蝕刻器/灰燼資產與所有主要晶片清洗過程兼容,並提高了均勻性和吞吐量,以滿足所有類型的蝕刻/灰燼要求。Kiyo EX具有先進的控制功能和工藝功能,是一款可靠、高效的蝕刻器/灰化器,可實現前沿蝕刻/灰化性能。
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