二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634889 待售
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LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一種蝕刻器,或稱asher,用於半導體工業。它主要用於在半導體制造過程中蝕刻或繪制表面圖樣並創建開口以形成材料中的圖樣,如多晶矽、多氧化物柵極堆棧和聚酰亞胺薄膜。它還從其他表面去除了氧化物、聚酰亞胺和其他材料膜。2300 Kiyo是一款半自動機器,一次最多可處理十個晶圓。它具有精確的端點檢測器,可精確控制蝕刻速率和定時,還提供閉環反應溫度控制,可精確控制溫度,精度在0.5 °F以內。而且機器具有低顆粒系統,因此微粒汙染最小化,產率一致。LAM RESEARCH 2300 Kiyo具有多種安全特性,使其成為半導體制造工藝的理想選擇。它被設計成節能的,它對空氣的利用使它本質上是安全的。此外,該機器的設計是為了限制進入危險區域,並在線聯鎖系統防止任何意外排放。機器尺寸為58 x 37 x 35英寸,內部腔室采用4上設計,以實現最大的邊到邊均勻性。2300 Kiyo有一個內置的碳噴射探測器,通過允許操作員在蝕刻循環的任何時刻監控晶片的蝕刻速率,可以實現更精確的蝕刻控制。它還有一個無浴冷卻系統,這有助於降低相關的維護成本。總之,LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款考慮到安全性和準確性的半自動蝕刻器。這種多功能蝕刻器具有多種優點,如低粒子排放、低能耗、串聯互鎖系統和內置的碳噴射探測器。它非常適合半導體行業,提供可靠的性能和一致的結果。
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