二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293634890 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款用於半導體加工的高度先進的蝕刻器/asher。它是一種具有蝕刻和灰化功能的單室設備。該系統采用先進技術和性能特性設計，以提高工藝效果。2300 Kiyo設計極易使用和維護,具有用戶友好的觸摸屏界面和組織良好的設置選項。LAM RESEARCH 2300 Kiyo在多個應用領域具有高度的能力,包括集成電路制造和非易失性內存制造。該裝置采用註氣裝置（GIS）和多流氣體分配機（GDS），以確保最優工藝控制。GIS能夠進行高度精確和可重復的流量控制,而GDS允許同時運行多個獨立的蝕刻配方。此外,該工具還包含一系列功能,使其適合許多不同的過程,包括遠程端點調整和靈活的配方。蝕刻資產還提供了一系列由索引器控制的硬件選項,包括高速掃描儀、可旋轉樣品支架和對齊模型。這樣就可以制造高度復雜的結構,而無需手動對齊。該設備能夠在高達200 °C的溫度下運行，並且可以通過一系列蝕刻工藝處理介電材料和導電材料。此外，2300 Kiyo還提供了一系列安全和環境保護，包括過程結束廢物回收系統和流量真空密封系統。其直觀的HMI允許用戶實時監控所有工藝參數和反應速率。所有這些特性使LAM RESEARCH 2300 Kiyo成為一種高效、高效、可靠的半導體制造工具。