二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293775899 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一種自動蝕刻/灰分設備,其設計目的是在具有濕法和幹法功能的單一工具中對多個晶片進行蝕刻和灰分處理。該系統設計可靠、高效、經濟高效。Kiyo為多個晶圓配備了自動晶圓傳輸、晶圓處理和晶圓冷卻功能。它包括一個獨立的工藝室，由堅韌、耐腐蝕的不銹鋼構成，以確保可靠的操作。腔室在所有晶片上提供均勻的熱和工藝條件,從而實現一致的蝕刻或灰化性能。這一單元還配備了石英邊緣環，使均勻性最大化，使工藝材料的重新沈積最小化。Kiyo能夠處理各種各樣的晶圓尺寸，從2-8英寸晶圓直徑不等。它能夠蝕刻和粉刷鎢和多晶矽等高密度材料，具有高長寬比壁和通氣等多種特點。本機還能處理小通道、夾雜物，以及其他0.1微米至0.5微米的高長寬比特性。Kiyo旨在提供可重復、精確的蝕刻和灰化性能。它配備了高速、精確調諧的質量流控制器和具有實時數據記錄能力的數字過程控制器。該工具能夠同時蝕刻和灰化多個晶片,從而實現極快的處理吞吐量。它具有可靠、可調、溫度控制的工藝氣體可變速蝕刻和灰化輸送。Kiyo配備了晶圓裝卸的兩級真空資產。它還有一個自動晶圓清洗模型，利用無臭氧層流進行深度清洗。該設備還包括一個在線晶圓計量系統，確保蝕刻和灰化特征的準確性和可重復性。總體而言，2300 Kiyo蝕刻/灰分單元是一種高效且經濟實惠的機器，可產生高質量的蝕刻和灰分性能。