二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #293829181 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款來自LAM RESEARCH Corporation的革命性蝕刻和粉刷設備，旨在提供可靠、可重復、高效的設備特性處理。它具有兩個先進的上遊和下遊蝕刻系統-高級蝕刻和灰分系統（AEAS）和高蝕刻和灰分單元（HEAS）。機載基於AI的高級配方能夠準確控制蝕刻和灰分工藝，從而實現優越的設備結構，而不會損壞矽結構。AEAS機器以超高速率快速蝕刻設備體系結構,並能夠為每個模具定制工藝參數。這使得該工具能夠以極好的可重復性獲得卓越的產量。HEAS資產進一步提供了靈活性,可同時滿足深蝕刻和淺蝕刻要求,同時保持卓越的特征保真度。2300 Kiyo還具有高分辨率成像模型,可在模具級精確監控特征。這與自動檢查和自動補償功能相結合,可實現準確和可重復的設備結構執行。此外,高級監控功能還提供了對過程控制參數的可見性,並允許在過程漂移時進行遠程調整。LAM RESEARCH 2300 Kiyo的獨特之處在於其蝕刻和金屬沈積階段的分離，提供了更高的器件產量，減少了檢驗時間，以及出色的後處理性能。設備先進的邊到邊均勻性能確保薄膜在緊密公差內均勻沈積，從而產生高質量的特征結構。此外,系統還提供完整的計量功能。自動補償功能允許快速測量模具特性,從而實現更大的控制和提高產量。該單元提供了卓越的可靠性和可用性,同時使用了最低限度的能源,使其成為滿足蝕刻和灰化需求的理想的經濟高效解決方案。2300 Kiyo結合了高性能和可重復性,是一款前沿蝕刻和asher機器,一定會為生產力樹立新的標準。