二手 LAM RESEARCH 2300 Kiyo #9161714 待售

LAM RESEARCH 2300 Kiyo是一款為滿足半導體制造商需求而設計的先進蝕刻器和asher。它能夠以精確和一致的方式處理各種蝕刻和灰化晶片、基材和其他材料的請求。該蝕刻器能夠使用各種尺寸的晶片，最多可施用三層各種氧化物或氮化物。先進的蝕刻器采用多邊形多頭濺射設備打造，使其輕松地覆蓋了廣闊的區域。它由一系列設計用來創造蝕刻環境的真空室提供動力。每個腔室都有一個專用的濺射槍可以用來蝕刻材料，或者一個光學聚焦的離子泵可以用來快速的離子轟擊。蝕刻機還包括負載鎖定機構，以確保蝕刻加工過程中的材料完整性。2300 Kiyo蝕刻器配備了一系列先進的控制和監控系統。其中包括用於精確氣流控制的雙軸控制器、用於監測過程壓力的一組真空傳感器，以及用於精確溫度控制的先進數字溫度控制器。蝕刻器還有許多過程診斷系統，如周期結束數據記錄系統、等離子體診斷單元和電弧感測機。LAM RESEARCH 2300 Kiyo是生產高品質集成電路的可靠而穩健的工具。其用戶友好的圖形用戶界面（GUI）和自動化的過程控制允許高效生產,同時仍允許操作員訪問高級過程設置。為了保證晶片的優越產量,該工具具有多種可選功能.其中包括一個自動對焦工具、一個臭氧監測儀和一個可選的現場檢測資產。此外,還可以使用可選的數據記錄模型來監視設備隨時間推移的蝕刻性能,從而使操作員更好地了解該過程。這些功能使2300 Kiyo成為功能強大且用途廣泛的蝕刻和灰化工具。